박막두께측정기 (α-step)
| 분류 | 표면분석장비 |
|---|---|
| 오퍼레이터 | 이영진 |
| 전화번호 | 042-828-5931 |
| 상태 | 신청가능 |
| 분석수수료 | 20,000원/ea 3D: 40,000원/h 20,000/h [자가사용] |
| 모델명 | Dektak 150 |
| 제조사 | Veeco |
- 장치용도
- Wafer 두께, Thin film 높이와 Stress 측정
- 주요규격
- Measurement technique : Stylus profilometry
Measuremant capability : Two-dimensional surface profile
Stylus sensor : Low-lnertia Sensor (LIS 3)
